Высоковакуумные методы напыления тонких пленок: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1963―1985 гг.) / А. Г. Денисов, И. В. Закурдаев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Денисов, А. Г. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985 |
| Физические характеристики: |
56 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1985, вып. 20 |
Загрузка