Применение импульсных режимов отжига в технологии полупроводниковых структур: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1980 гг.) / И. А. Калябина, Г. А. Крысов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Калябина, И. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981 |
| Физические характеристики: |
35 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1981, вып. 12 |
1981, Вып.12: Применение импульсных режимов... / Калябина И. А., Крысов Г. А.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||