Применение импульсных режимов отжига в технологии полупроводниковых структур: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1980 гг.) / И. А. Калябина, Г. А. Крысов

Сохранено в:
Шифр документа: 173663-12,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Калябина, И. А.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981
Физические характеристики: 35 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1981, вып. 12
Загрузка