Применение импульсных режимов отжига в технологии полупроводниковых структур: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1980 гг.) / И. А. Калябина, Г. А. Крысов

Сохранено в:
Шифр документа: 173663-12,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Калябина, И. А.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981
Физические характеристики: 35 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1981, вып. 12
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001467038
005 20180503101753.0
100 # # $a 20180503d1981 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Применение импульсных режимов отжига в технологии полупроводниковых структур  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1980 гг.)  $f И. А. Калябина, Г. А. Крысов 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1981 
215 # # $a 35 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 7  $i Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1981, вып. 12 
320 # # $a Библиография: с. 30―35 (55 назв.) 
345 # # $a 1750 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1981, вып. 12 
700 # 1 $a Калябина  $b И. А.  $g Иллирия Алексеевна 
701 # 1 $a Крысов  $b Г. А.  $g Георгий Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180503  $g psbo