Тепло- и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1987 гг.) / Ю. А. Райнов [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Райнов, Ю. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987 |
| Физические характеристики: |
64 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1987, вып. 17 |
Загрузка