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$a DE
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| 105 |
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$a a ||||000yy
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| 200 |
1 |
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$a Ionenstrahlverfahren und Mikroelektronik
$e [Aufsatzsammlung]
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| 210 |
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$a Berlin
$c Humboldt-Universität
$d 1985
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| 215 |
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$a С. 795―896
$c іл.
$d 24 см
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| 225 |
2 |
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$a Wissenschaftliche Zeitschrift der Humboldt-Universität zu Berlin
$i Mathematisch-naturwissenschaftliche Reihe
$x 0522-9863
$v 9/1985
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| 320 |
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$a Бібліяграфія ў канцы артыкулаў
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| 461 |
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1 |
$1 001BY-NLB-br289071
$1 2001
$v 1985,Jg.34,№9
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| 517 |
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$a Методы применения ионных пучков и микроэлектроника
$z rus
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| 801 |
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0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180418
$g psbo
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