Оборудование для плазменного напыления: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1980 гг.) / [В. Н. Лясников]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Лясников, В. Н. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981 |
Физические характеристики: |
47 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1981, вып. 5 |
Загрузка