Физические концепции механизма лазерного отжига имплантированных полупроводниковых структур: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1981 гг.) / Н. В. Черепнин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Черепнин, Н. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981 |
| Физические характеристики: |
60 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1981, вып. 8 |
Загрузка