Некоторые вопросы применения голографии в фотолитографических процессах / Н. М. Ионина [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ионина, Н. М. |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
39, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 9 |
Загрузка