|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001444457 |
| 005 |
20180127100504.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180127d1971 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Некоторые вопросы применения голографии в фотолитографических процессах
$f Н. М. Ионина [и др.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Институт "Электроника"
$d 1971
|
| 215 |
# |
# |
$a 39, [2] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$i Серия: Технология и организация производства
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1971, вып. 9
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 39―40 (36 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1300 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0001378097
$1 2001
$v 1971, вып. 9
|
| 700 |
# |
1 |
$a Ионина
$b Н. М.
$g Наталья Миркирьевна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180127
$g psbo
|
