Техника изготовления фотошаблонов - трафаретов для производства кремниевых интегральных схем / Б. В. Малин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Малин, Б. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
158, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 4 |
Загрузка