|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001444338 |
| 005 |
20180126142706.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180126d1971 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Техника изготовления фотошаблонов - трафаретов для производства кремниевых интегральных схем
$f Б. В. Малин
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1971
|
| 215 |
# |
# |
$a 158, [2] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$i Серия: Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1971, вып. 4
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 158 (4 назв.)
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1971, вып. 4
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-334079
$a Малин
$b Б. В.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180126
$g psbo
|
