Развитие метода катодного распыления / В. Н. Гаштольд
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гаштольд, В. Н. |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1970 |
| Физические характеристики: |
43, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1970, вып. 2 |
Загрузка