Развитие метода катодного распыления / В. Н. Гаштольд

Сохранено в:
Шифр документа: 102206-27,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Гаштольд, В. Н.
Опубликовано: Москва : Институт "Электроника" , 1970
Физические характеристики: 43, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1970, вып. 2
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001444286
005 20180126135852.0
100 # # $a 20180126d1970 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Развитие метода катодного распыления  $f В. Н. Гаштольд 
210 # # $a Москва  $c Институт "Электроника"  $d 1970 
215 # # $a 43, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Микроэлектроника  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1970, вып. 2 
320 # # $a Библиография: с. 37―43 (150 назв.) 
345 # # $9 1100 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78454  $1 2001   $v 1970, вып. 2 
700 # 1 $a Гаштольд  $b В. Н.  $g Владимир Николаевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180126  $g psbo