Импульсное нанесение пленок: (по данным отечественной и зарубежной печати) / [Б. А. Осадин]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Осадин, Б. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Физические характеристики: |
74, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1976, вып. 4 |
Загрузка