Импульсное нанесение пленок: (по данным отечественной и зарубежной печати) / [Б. А. Осадин]

Сохранено в:
Шифр документа: 152434-4,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Осадин, Б. А.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976
Физические характеристики: 74, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1976, вып. 4
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001444164
005 20180126114846.0
100 # # $a 20180126d1976 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Импульсное нанесение пленок  $e (по данным отечественной и зарубежной печати)  $f [Б. А. Осадин] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1976 
215 # # $a 74, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 3  $i Микроэлектроника  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1976, вып. 4 
304 # # $a Автор указан на обложке 
320 # # $a Библиография: с. 69―75 (117 назв.) 
345 # # $9 1850 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78454  $1 2001   $v 1976, вып. 4 
700 # 1 $3 BY-SEK-606261  $a Осадин  $b Б. А.  $g Борис Алексеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180125  $g psbo