Основы фотолитографии в производстве интегральных схем / Б. В. Малин, Т. И. Эрез
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Малин, Б. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1973 |
| Физические характеристики: |
39 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1973, вып. 2 |
Загрузка