|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001444052 |
| 005 |
20180125153049.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180125d1973 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Основы фотолитографии в производстве интегральных схем
$f Б. В. Малин, Т. И. Эрез
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1973
|
| 215 |
# |
# |
$a 39 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$i Серия: Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1973, вып. 2
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 35―38 (76 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1500 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1973, вып. 2
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-334079
$a Малин
$b Б. В.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Эрез
$b Т. И.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180125
$g psbo
|
