Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1962―1977 гг.) / [В. А. Лабунов, В. П. Пархутик]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лабунов, В. А. (род. 1939) |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1978 |
| Физические характеристики: |
70 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1978, вып. 1 |
Загрузка