|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443971 |
| 005 |
20180125100812.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180125d1988 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-аналитическое оборудование в научных исследованиях и технологии современной микроэлектроники
$e (материалы научно-технического семинара, декабрь 1988 г.)
$e [сборник статей
$f научный редактор Г. А. Шерозия]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 43 с.
$c граф., ил., табл.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тезисы докладов конференций
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 2 (276)
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0000328593
$1 2001
$v Вып. 2
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-416097
$a Шерозия
$b Г. А.
$g Георгий Аркадьевич
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20171121
$g psbo
|
