Особенности технологии формирования и электрофизические свойства изолирующих слоев в микросхемах памяти с поликремниевым затвором: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.) / [Г. В. Перов, М. А. Ульев]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Перов, Г. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1984 |
| Физические характеристики: |
67 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1984, вып. 4 |
Загрузка