Самоформирование микроструктур в технологии изготовления интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1985 гг.) / Р. Б. Навицкас
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Навицкас, Р. Б. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
| Физические характеристики: |
43 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1986, вып. 1 |
Загрузка