|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443659 |
| 005 |
20180123171100.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1981 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a y ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Бесконтактные методы контроля толщины и неплоскостности полупроводниковых слоев
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1980 гг.)
$f [составитель О. Н. Пономаренко
$g редактор И. М. Дубровская]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 58, [1] с.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тематические указатели литературы
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 4 (323)
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 59 (16 назв.)
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br77962
$1 2001
$v Вып. 4
|
| 702 |
# |
1 |
$a Пономаренко
$b О. Н.
$g Ольга Николаевна
$4 220
|
| 702 |
# |
1 |
$a Дубровская
$b И. М.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20171124
$g psbo
|
