|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443622 |
| 005 |
20180123154649.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1975 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Дифракционные методы неразрушающего контроля реальной структуры эпитаксиальных и поликристаллических пленок в микроэлектронике
$f Г. Ф. Кузнецов, С. А. Семилетов
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1975
|
| 215 |
# |
# |
$a 94 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1975, вып. 1
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 88―94 (170 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1835 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1975, вып. 1
|
| 700 |
# |
1 |
$a Кузнецов
$b Г. Ф.
$g Григорий Федотович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Семилетов
$b С. А.
$g Степан Алексеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
