Генерация аэрозолей оборудование микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1961―1988 гг.) / В. М. Редин [и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Редин, В. М. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1989 |
| Физические характеристики: |
52, [1] c., включая обложку : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1989, вып. 2 |
Загрузка