|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443538 |
| 005 |
20180123120139.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Генерация аэрозолей оборудование микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1961―1988 гг.)
$f В. М. Редин [и др.
$g научный редактор Т. В. Жукова]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 52, [1] c., включая обложку
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1989, вып. 2
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 50―53 (59 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1980 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1989, вып. 2
|
| 700 |
# |
1 |
$a Редин
$b В. М.
$g Вадим Михайлович
|
| 702 |
# |
1 |
$a Жукова
$b Т. В.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
