Электронно-ионные методы субмикронной технологии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1984 гг.) / Ю. Ф. Быдин [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Быдин, Ю. Ф. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985 |
| Физические характеристики: |
39, [1] c. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1985, вып. 1 |
Загрузка