|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443512 |
| 005 |
20241015114711.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1985 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Электронно-ионные методы субмикронной технологии
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1984 гг.)
$f Ю. Ф. Быдин [и др.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 39, [1] c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1985, вып. 1
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 38―40 (58 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2500 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1985, вып. 1
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar14821363
$a Быдин
$b Ю. Ф.
$g Юлий Федорович
$c доктор физико-математических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g RCR
|
