Технологические основы получения и электрические характеристики тонких нитрированных слоев в элементах интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1971―1987 гг.) / Г. В. Перов, Н. Д. Иванцова, Б. И. Сысоев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Перов, Г. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987 |
| Физические характеристики: |
43 c. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1987, вып. 6 |
Загрузка