|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443477 |
| 005 |
20180123095312.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологические основы получения и электрические характеристики тонких нитрированных слоев в элементах интегральных схем
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1971―1987 гг.)
$f Г. В. Перов, Н. Д. Иванцова, Б. И. Сысоев
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 43 c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1987, вып. 6
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 40―43 (41 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2550 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1987, вып. 6
|
| 700 |
# |
1 |
$a Перов
$b Г. В.
$g Геннадий Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Иванцова
$b Н. Д.
$g Наталья Дмитриевна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Сысоев
$b Б. И.
$g Борис Иванович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
