Плазмохимические методы синтеза диэлектрических слоев в полупроводниковой технологии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1986 годы) / Ю. А. Голиков, Т. П. Смирнова, А. П. Соловьев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Голиков, Ю. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
| Физические характеристики: |
28 c. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1986, вып. 5 |
Загрузка