|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443472 |
| 005 |
20180123093847.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1986 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазмохимические методы синтеза диэлектрических слоев в полупроводниковой технологии
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1986 годы)
$f Ю. А. Голиков, Т. П. Смирнова, А. П. Соловьев
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 28 c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1986, вып. 5
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 24―28 (73 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2370 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1986, вып. 5
|
| 700 |
# |
1 |
$a Голиков
$b Ю. А.
$g Юрий Александрович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Смирнова
$b Т. П.
$g Тамара Павловна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Соловьев
$b А. П.
$g Андрей Петрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
