Получение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1982―1987 гг.) / Т. Г. Духанова, В. Ю. Васильев, Ю. И. Веретение
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Духанова, Т. Г. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988 |
| Физические характеристики: |
72 c. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1988, вып. 4 |
Загрузка