|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443465 |
| 005 |
20180123091258.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Получение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1982―1987 гг.)
$f Т. Г. Духанова, В. Ю. Васильев, Ю. И. Веретение
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 72 c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1988, вып. 4
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 67―72 (66 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2450 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1988, вып. 4
|
| 700 |
# |
1 |
$a Духанова
$b Т. Г.
$g Татьяна Григорьевна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Васильев
$b В. Ю.
$g Владислав Юрьевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Веретенин
$b Ю. И.
$g Юрий Иннокентьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
