|
|
|
|
|
00000cam0a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443464 |
| 005 |
20180828153659.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Субмикронная литография с применением потоков ионизирующих излучений
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1971―1983 гг.)
$f Б. В. Козейкин, А. И. Фролов, А. С. Чеботарев
$g [научный редактор А. Б. Невский]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1984, вып. 2
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 30―32 (53 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2390 экз.
|
| 700 |
# |
1 |
$a Козейкин
$b Б. В.
$g Борис Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Фролов
$b А. И.
$g Алексей Игоревич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Чеботарев
$b А. С.
$g Анатолий Сергеевич
|
| 702 |
# |
1 |
$a Невский
$b А. Б.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
