|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443395 |
| 005 |
20180122152407.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180122d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология субмикронной фотолитографии: современное состояние, перспективы развития и применения
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1988 гг.)
$f Ю. С. Боков, А. Б. Невский, В. М. Фролов
$g научный редактор И. Н. Суслова
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 35 c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1988, вып. 6
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 31―35 (73 назв.)
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1988, вып. 6
|
| 700 |
# |
1 |
$a Боков
$b Ю. С.
$g Юрий Сергеевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Невский
$b А. Б.
$g Александр Борисович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Фролов
$b В. М.
$g Владимир Михайлович
|
| 702 |
# |
1 |
$a Суслова
$b И. Н.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
