|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443392 |
| 005 |
20180122143233.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180122d1978 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы контроля технологических процессов очистки кремниевых пластин и нанесения слоев при производстве МДП БИС
$e (по данным зарубежной печати за 1972―1978 гг.)
$f [И. А. Васильева, Г. А. Филаретов, А. С. Яковлев
$g научный редактор Ю. В. Федорович]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1978
|
| 215 |
# |
# |
$a 46 c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1978, вып. 4
|
| 304 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обложке
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 41―46 (107 назв.)
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1978, вып. 4
|
| 700 |
# |
1 |
$a Васильева
$b И. А.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Филаретов
$b Г. А.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Яковлев
$b А. С.
|
| 702 |
# |
1 |
$a Федорович
$b Ю. В.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
