Фото-, электроно-, рентгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем / [составитель Р. А. Карпович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 出版: | Москва : Электроника , 1976 |
| 實物描述: |
80, [1] с. ; 20 см
|
| 語言: | Русский |
| 叢編: |
Тематические указатели литературы
вып. 10 (177) |
1976, Вып.10: Фото-, электроно-, рентгено- и лазерная литография...
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||