Получение тонких пленок методом катодного распыления / составитель Т. Н. Протопопова
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| Wydane: | Москва : Электроника , 1970 |
| Opis fizyczny: |
25, [3] с. ; 21 см
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Тематические указатели литературы
вып. 11 (131) |
1970, Вып.11: Получение тонких пленок методом катодного распыления
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||