|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001383153 |
| 005 |
20170912140945.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170506d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Девицкий Олег Васильевич
$g [Северо-Кавказский федеральный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Новочеркасск
$d 2017
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—24
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1807734
$a ИМПУЛЬСНОЕ ЛАЗЕРНОЕ НАПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2644768
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35855
$a ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.35
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.01
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar12362980
$a Девицкий
$b О. В.
$g Олег Васильевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170506
$g psbo
|
