Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов / [В. И. Шаблов, Е. И. Беркушкина, З. М. Шарова]

Сохранено в:
Шифр документа: 125351-7,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Шаблов, В. И.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1973
Физические характеристики: 27, [2] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1973, вып. 8
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001378840
005 20170420114723.0
100 # # $a 20170420d1973 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов  $f [В. И. Шаблов, Е. И. Беркушкина, З. М. Шарова] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1973 
215 # # $a 27, [2] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Электровакуумные и газоразрядные приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1973, вып. 8 
300 # # $a Авторы указаны на обложке 
320 # # $a Библиография: с. 27―28 (31 назв.) 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br30734  $1 2001   $v 1973, вып. 8 
700 # 1 $a Шаблов  $b В. И. 
701 # 1 $a Беркушкина  $b Е. И. 
701 # 1 $a Шарова  $b З. М. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170420  $g psbo