Ионное легирование при изготовление МОП-струкур / Л. В. Петрова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Петрова, Л. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
30, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 7 |
1971, №7: Ионное легирование при изготовлении МОП-структур / Петрова Л. В.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||