Ионное легирование при изготовление МОП-струкур / Л. В. Петрова

Сохранено в:
Шифр документа: 110737-21,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Петрова, Л. В.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971
Физические характеристики: 30, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1971, вып. 7
Загрузка