Ионное легирование при изготовление МОП-струкур / Л. В. Петрова
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Петрова, Л. В. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
Физические характеристики: |
30, [1] с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 7 |
Загрузка