Ионное легирование при изготовление МОП-струкур / Л. В. Петрова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Петрова, Л. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
30, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 7 |
| 00000cam2a22000003is4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br0001377207 | ||
| 005 | 20170415134004.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20170415d1971 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 105 | # | # | $a a ||||000yy |
| 200 | 1 | # | $a Ионное легирование при изготовление МОП-струкур $f Л. В. Петрова |
| 210 | # | # | $a Москва $c ЦНИИ "Электроника" $d 1971 |
| 215 | # | # | $a 30, [1] с. $c ил. $d 21 см |
| 225 | 1 | # | $a Обзоры по электронной технике $i Серия: Полупроводниковые приборы $f Министерство электронной промышленности СССР $v 1971, вып. 7 |
| 345 | # | # | $9 1600 экз. |
| 461 | # | 1 | $1 001BY-NLB-br78453 $1 2001 $v 1971, вып. 7 |
| 700 | # | 1 | $a Петрова $b Л. В. |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20170415 $g psbo |