Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике / [Р. Р. Резвый, М. С. Финарев]
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Резвый, Р. Р. |
| Wydane: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1977 |
| Opis fizyczny: |
80 с. : ил. ; 21 см
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Обзоры по электронной технике
1977, вып. 7 |
1977, №7: Эллипсометрические методы исследования и контроля...
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||