Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике / [Р. Р. Резвый, М. С. Финарев]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Резвый, Р. Р. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1977 |
| Физические характеристики: |
80 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1977, вып. 7 |
Загрузка