Использование метода каналирования для исследования поверхностных ионнолегированных слоев в полупроводниках / Ю. П. Докучаев, И. И. Разгуляев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Докучаев, Ю. П. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1974 |
| Физические характеристики: |
54 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1974, вып. 11 |
Загрузка