|
|
|
|
|
00000cam0a22000003is4500 |
001 |
BY-NLB-br0001376123 |
005 |
20170417135500.0 |
100 |
# |
# |
$a 20170413d1968 y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
200 |
1 |
# |
$a Газовое травление германия и кремния
$f [Г. Н. Конарева, Л. Ф. Ронская]
$g под редакциейА. С. Белановского
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$c Институт "Электроника"
$d 1968
|
215 |
# |
# |
$a 68, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$i Серия: Полупроводниковые приборы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1968, вып. 57
|
300 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обложке
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 66―68 (50 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 1300 экз.
|
700 |
# |
1 |
$a Конарева
$b Г. Н.
|
701 |
# |
1 |
$a Ронская
$b Л. Ф.
|
702 |
# |
1 |
$a Белановский
$b А. С.
$4 340
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170413
$g psbo
|