Диффузия мышьяка в кремнии с применением новых источников: (реферативно-аналитический обзор) / [Б. Г. Анохин, Л. Н. Хитрова]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Анохин, Б. Г. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979 |
| Физические характеристики: |
55 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1979, вып. 2 |
Загрузка