Диффузия мышьяка в кремнии с применением новых источников: (реферативно-аналитический обзор) / [Б. Г. Анохин, Л. Н. Хитрова]

Сохранено в:
Шифр документа: 154772-1,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Анохин, Б. Г.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979
Физические характеристики: 55 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1979, вып. 2
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001376053
005 20170413084704.0
100 # # $a 20170413d1979 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Диффузия мышьяка в кремнии с применением новых источников  $e (реферативно-аналитический обзор)  $f [Б. Г. Анохин, Л. Н. Хитрова] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1979 
215 # # $a 55 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1979, вып. 2 
300 # # $a Авторы указаны на обложке 
320 # # $a Библиография: с. 50―55 (85 назв.) 
345 # # $9 1750 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1979, вып. 2 
700 # 1 $a Анохин  $b Б. Г.  $g Борис Григорьевич 
701 # 1 $a Хитрова  $b Л. Н.  $g Лидия Николаевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170403  $g psbo